機械工学コース 保坂篤紀君(真田・水嶋研究室)が、Asian Workshop on Planarization /CMP Technology (AWPT)(2021年10月29日、Web開催)において『Best Presentation Award』を受賞しました。
発表題目:Measurement of near-surface brush volume ratio and nodule volume change for moving PVA brushes
著 者:Atsuki Hosaka, Yuki Mizushima, Satomi Hamada, Ryota Koshino, Akira Fukunaga, Toshiyuki Sanada
Asian Workshop on Planarization /CMP Technology (AWPT) HP:
http://www2.kanazawa-it.ac.jp/ishiune/awpt/awpt
真田・水嶋研究室(混相流体工学研究室)HP:
https://wwp.shizuoka.ac.jp/multiphase/
静岡大学 工学部 HP:
https://www.eng.shizuoka.ac.jp/articles/view/hama2021110402/