回転ウエハー上のPVAローラーブラシ変形挙動

宮木翼, 水嶋祐基, 真田俊之, 濱田聡美, 福永明, 檜山浩國，”回転ウエハー上のPVAローラーブラシ変形挙動”，第67回応用物理学会春季学術講演会 （2020.3）